油扩散喷射真空泵是利用高压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限压力约10-2帕，工作压力范围一般为1.0～10-1帕，抽气速率范围为几百到几万升每秒，最大反压力为几百帕，是获得中真空的主要设备之一。

油扩散喷射真空泵又称油增压泵，其工作压力范围为10～10-2Pa。这个压力范围正好是高真空油扩散泵和油封式机械泵抽气能力下降的中间地带，油封式机械泵的抽速随压力降低而明显地减小，在10-1 Pa时实际抽速几乎为零；而大多数油扩散泵在此压力范围内抽速也很小。

在1～10-1 Pa工作压力范围内，油增压泵恰好具有较大的抽速。因此，油增压泵除用做主泵外，常用到大型油扩散泵的出口处，来增加其出口压力，使前级机械泵能有效地工作，故称其为油增压泵。

油扩散喷射真空泵与油增压泵相比，相同口径的泵，其加热功率高2～5倍，抽气量高4～20倍，泵的功能不同，泵油性能不同，但其抽气机理基本相同。